Çetinkara, AliUsta, Metin2024-05-282024-05-282010https://tez.yok.gov.tr/UlusalTezMerkezi/TezGoster?key=zD1B0cW7zVr3VcnZjitVXkidbl1-jmL39SJSPmpzQ9Ut7eXZ6bpJTTYoM8ER7Vyuhttps://hdl.handle.net/20.500.12483/7007Bu çalışmada termal buharlaştırma yöntemiyle kuartz altlıklar üzerine WO3(ince film) nano yapılar elde edilmiş, film büyütme parametrelerinden biri olansıcaklığın, üretim sonrası tavlama işleminin üretilen filmlerin morfolojisi, kristalografikyapısı ve elektriksel özellikleri üzerine etkisi araştırılmıştır.In this study, WO3 thin film nano-structures on quartz substrates were obtainedby thermal evaporation, effects of temperature -one of the film growth parameters- postproductionannealing process to morphology, crystallographic structure and electricalproperties of the produced film were investigated.turinfo:eu-repo/semantics/openAccessFizik ve Fizik MühendisliğiPhysics and Physics EngineeringMaster Thesis1103287590