WO3 ince filmlerinin üretilmesi, yapısal ve elektriksel karakterizasyonu
Loading...
Files
Date
2010
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Hatay Mustafa Kemal Üniversitesi
Access Rights
info:eu-repo/semantics/openAccess
Abstract
Bu çalışmada termal buharlaştırma yöntemiyle kuartz altlıklar üzerine WO3(ince film) nano yapılar elde edilmiş, film büyütme parametrelerinden biri olansıcaklığın, üretim sonrası tavlama işleminin üretilen filmlerin morfolojisi, kristalografikyapısı ve elektriksel özellikleri üzerine etkisi araştırılmıştır.
In this study, WO3 thin film nano-structures on quartz substrates were obtainedby thermal evaporation, effects of temperature -one of the film growth parameters- postproductionannealing process to morphology, crystallographic structure and electricalproperties of the produced film were investigated.
In this study, WO3 thin film nano-structures on quartz substrates were obtainedby thermal evaporation, effects of temperature -one of the film growth parameters- postproductionannealing process to morphology, crystallographic structure and electricalproperties of the produced film were investigated.
Description
Keywords
Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
